认证与翻新
缺陷检测
Surfscan® Series
无图案晶圆检测系统
Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持IC、OEM、材料和衬底制造。
2835, 2367
宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统
2835和2367宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能，能够在≥45nm的逻辑、内存和专业元件上对良率关键缺陷进行监控。每个型号的系统都配备特定可选的波长照明、成像像素、光学模式和先进的噪声抑制和缺陷分类算法，为最关键的工艺层提供经济高效的在线检测控制。
认证和再制造